牛津儀器納米分析部在電子顯微鏡的能譜分析技術(shù)方面處于世界領(lǐng)先地位，該部近日剛剛成功安裝完成第 1000臺X-Max超大面積SDD能譜探頭。迄今為止，該設(shè)備為世界上唯一一臺具有80mm2晶體活區(qū)的探頭，投入市場僅僅兩年就已達(dá)到令人矚目的成績。德國柏林的Atotech公司繼之前三臺X-Max探頭投入繁忙的測試工作之后，又馬不停蹄地引進(jìn)第四臺能譜儀進(jìn)廠，恰好成就牛津儀器納米分析部的第 1000臺X-Max超大面積SDD能譜探頭的成功安裝。
當(dāng)今世界，對納米材料的研究已逐漸成為材料及生物等研究領(lǐng)域的主流，而由于納米顆粒尺度較小，受到掃描電鏡的電子束照射后產(chǎn)生的X-ray產(chǎn)額較低，導(dǎo)致能譜EDS探頭接收的X-ray計數(shù)較低，嚴(yán)重影響能譜分析的精度及效率，因此開發(fā)出可接收更高X-ray計數(shù)的能譜探頭已成為納米材料研究的重要課題。在此背景下，世界上第一臺大面積硅漂移探頭--X-Max--正式誕生，該探頭有效的解決了納米顆粒物相鑒定困難的問題。相同條件下，X-Max探頭的晶體有效面積為80mm2，比傳統(tǒng)普通EDS探頭捕獲X-ray的能力高出十倍之多。在X-Max探頭誕生兩年前，只有SDD探頭有類似大面積晶體活區(qū)。
牛津儀器納米分析部總經(jīng)理Lan Barkshire說："牛津儀器的目標(biāo)是通過開發(fā)更多更先進(jìn)的設(shè)備，使局限于小規(guī)模實驗室的研究轉(zhuǎn)化為全世界都大規(guī)模普及的產(chǎn)品，而X-Max探頭正是基于我們公司理念的最佳代表，我們最高興的事情就是聽到客戶利用新設(shè)備又做出令人振奮的結(jié)果。"
2011年1月，X-Max能譜探頭正式落戶德國柏林Atotech GmbH公司，該公司擁有世界領(lǐng)先的一體化生產(chǎn)半導(dǎo)體及印刷電路板產(chǎn)品工廠。本次安裝的X-Max能譜探頭分辨率達(dá)到124eV，大大高于規(guī)制要求。 Atotech 公司的顯微分析部負(fù)責(zé)人Ralf Schulz博士說："分析結(jié)果的可靠性與精確性對我公司來說至關(guān)重要，我們選擇安裝四臺X-Max超大面積SDD能譜探頭正式考慮到該產(chǎn)品在分析精度及分析效率等方面的卓越表現(xiàn)而確立的，該產(chǎn)品可以更塊速、更準(zhǔn)確、更便捷的分析材料物性。"
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