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國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸晶圓探針臺(tái)在長(zhǎng)研制成功
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【世界機(jī)械網(wǎng)】 時(shí)間：2020-07-04 來(lái)源：長(zhǎng)春日?qǐng)?bào) 【收藏本頁(yè)】
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近日，中科院長(zhǎng)春光機(jī)所旗下長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司（光華微電子）宣布研制成功國(guó)內(nèi)首臺(tái)商用12英寸全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)。
本次研發(fā)成功的晶圓探針臺(tái)產(chǎn)品，是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，可將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái)，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，從而大幅度降低器件的制造成本。
探針臺(tái)技術(shù)門檻較高，目前市場(chǎng)處于雙強(qiáng)壟斷態(tài)勢(shì)，東京電子和東京精密兩家日本公司占據(jù)了絕大部分市場(chǎng)份額。我國(guó)在探針臺(tái)研制方面已有多年技術(shù)積累，產(chǎn)品以8英寸為主，光華微電子于2015年正式立項(xiàng)開展12英寸全自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品研發(fā)，先后突破了6項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。今年，光華微電子推出的第一代產(chǎn)品機(jī)將在上海展出，并全面推向市場(chǎng)。
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